CMP 是什么意思

来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/11/08 09:25:52
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不知道你问的是哪方面,CMP(chemical mechanical polishing)是一种 运用化学反应,和机械研磨作用,对半导体材料的抛光手法
是现在半导体加工不可缺少的一道工序