直流磁控溅射 射频磁控溅射 不同的原因

来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/11/23 23:19:27
直流磁控溅射射频磁控溅射不同的原因直流磁控溅射射频磁控溅射不同的原因直流磁控溅射射频磁控溅射不同的原因直流磁控溅射只能使用金属靶材,射频(13.56MHz)溅射由于高频的场效应可以使靶材的应用扩展到非

直流磁控溅射 射频磁控溅射 不同的原因
直流磁控溅射 射频磁控溅射 不同的原因

直流磁控溅射 射频磁控溅射 不同的原因
直流磁控溅射只能使用金属靶材,射频(13.56MHz)溅射由于高频的场效应可以使靶材的应用扩展到非金属材料,比如陶瓷材料等等.