LED外延层指什么LED外延层和外延片是同一个概念吗?
来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/11/23 20:26:27
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非也非也!外延层是指生长沉积在衬底上的那一部分,外延片是外延层加上衬底.外延层的厚度比衬底的厚度小很多,微米级别的.蓝宝石衬底在生长外延层之前一般都要进行pss处理以减小晶格失配,增加沉底和外延层的结合力,另外经过pss衬底处理过的衬底有助于光参数的提升,另外一个提升光参数的方法还有se(侧壁腐蚀).
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