太阳能等离子刻蚀机的真空泵产生气体是什么气体,对人会产生什么危害

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CF4和NH3的反应气体,真空泵排气端接尾气处理装置,处理后空排,应该不会对人产生危害的,如果没有尾气处理装置,产生氟化物气体对人伤害较大,主要表现为肺部病状和生殖系统病状.环保局要管的.