SEM如何利用二次电子成像
来源：学生作业帮助网 编辑：六六作业网 时间：2024/11/08 23:05:59
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SEM如何利用二次电子成像
SEM如何利用二次电子成像
SEM如何利用二次电子成像
从书上查了一些内容,书的年代比较久远,可能买不到...有兴趣的话,尝试着去图书馆借一下吧.
SEM工作时,电子枪发射的入射电子束打在试样表面上,向内部穿透一定的深度,由于弹性和非弹性散射形成一个呈梨状的电子作用体积.电子与试样作用产生的物理信息,均由体积内产生.
二次电子是入射电子在试样内部穿透和散射过程中,将原子的电子轰击出原子系统而射出试样表面的电子,其中大部分属于价子激发,所以能量很小,一般小于50eV.因此二次电子探测体积较小.二次电子发射区的直径仅比束斑直径稍大一些,因而可获得较高的分辨率.
二次电子像的衬度取决于试样上某一点发射出来的二次电子数量.电子发射区越接近表面,发射出的二次电子就越多,这与入射电子束与试样表面法线的夹角有关.试样的棱边、尖峰等处产生的二次电子较多,相应的二次电子像较亮；而平台、凹坑处射出的二次电子较少,相应的二次电子像较暗.根据二次电子像的明暗衬度,即可知道试样表面凹凸不平的状况,二次电子像是试样表面的形貌放大像.
SEM内在试样的斜上方放置有探测器来接受这些电子.接受二次电子的装置简称为检测器,它是由聚焦极、加速极、闪烁体、光导管和光电倍增管组成.在闪烁体前面装一筒装电极,称为聚焦极,又称收集极.在其前端加一栅网,在聚焦极上加250-300V的正电压.二次电子被此电压吸引,然后又被带有10kV正电压的加速极加速,穿过网眼打在加速极的闪烁体上,产生光信号,经光导管输送到光电倍增管,光信号转变为电子信号.最后输送到显示系统,显示出二次电子像.
这两个概念怎么能联系到一起的呢？？
我还以为是SE引擎营销呢
什么呀这是
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