如何减少硅片翘曲度
来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/09/11 00:36:58
如何减少硅片翘曲度如何减少硅片翘曲度如何减少硅片翘曲度硅片的翘曲可能是由热应力引起的,所以应减小热应力.主要方法是降低硅片加工过程中的升温和降温速率;其次,适当拉开硅片间的间距.
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硅片的翘曲可能是由热应力引起的,所以应减小热应力.主要方法是降低硅片加工过程中的升温和降温速率;其次,适当拉开硅片间的间距.
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