触摸屏厂中光阻、光阻剂、光刻胶是同一个意思吗?有没相关光阻的材料可以参考?

来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/11/29 19:25:17
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光刻胶(英语:photoresist),亦称为光阻或光阻剂,是指通过紫外光、深紫外光、电子束、离子束、X射线等光照或辐射,其溶解度发生变化的耐蚀刻薄膜材料,是光刻工艺中的关键材料,主要应用于集成电路和半导体分立器件的细微图形加工.