CZ硅单晶中,间隙氧和代位碳在晶体中的纵向分布:氧含量头部高尾部低,碳含量头部低尾部高.为什么?
来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/12/29 08:56:27
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这个去看看分凝系数相关的,碳和氧的分凝系数不一样,氧含量还和坩埚工作时间有关.
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