精度可达1um,可以检测肉眼无法识别的微小振动的可接触式的传感器.
来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/11/16 04:11:22
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zlds11x这样的吧,或者可以考虑电涡流的哦
如果你考虑非接触式的话可以考虑ZLDS100或者电涡流传感器。
接触式的精度不可能达到1μm,只有非接触的可以,比如ZLDS100,而且必须选择小量程的,
可以用ZLDS10X系列 能达到你的要求
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我要检测位移,精度要求0.1um,有什么好的方式可以实现.测量点间距1cm~20cm(或0到更大)可以调整,间距确定后,间距变化范围200um,精度要求0.1um.
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