半导体参杂用的三氧化二硼有什么要求
来源：学生作业帮助网 编辑：六六作业网 时间：2024/11/15 13:32:53
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半导体参杂用的三氧化二硼有什么要求
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半导体参杂用的三氧化二硼有什么要求
首先,要保证掺杂剂的纯度,三氧化二硼可以用涂布法.可以用SiO2的乳胶--即烷氧基硅烷水解聚合物,作为有一定黏度的涂布的材料.然后,加入溶剂（乙醇,酯类）与三氧化二硼相调和,涂布于半导体上.一般而言,此类半导体是Si 材料.对于化合物半导体,问题就没有那样简单,如III-V、II-VI 、IV-VI族化合物半导体等,就需要另外方法去处理.如离子注入等等.
仅以硅材料而言,方法还有：如,三氧化二硼、BN的高温氧化.也有用硼酸三甲酯、乙硼烷、三溴化硼等等的氧化,沉淀和扩散.但是掺杂剂的纯度一定要高.
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