【请教】硅片抛光面与非抛光面有什么区别
来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/12/26 02:50:37
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抛光面比较整洁,除去了大部分的缺陷(切片时造成的),但是电阻还真没有量过,在没有热处理之前是应该差不多的吧,抛光对集成电路而言是远远不够的,只是粗加工.作为研究用当做单晶称底是很不错的选择.
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