要测电主轴径向振动,用什么传感器?RT要求非接触的,精度0.1um,量程2mm吧,因为跳动也就几个um,希望精准

来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/11/25 14:58:38
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要测电主轴径向振动,用什么传感器?
RT
要求非接触的,精度0.1um,量程2mm吧,因为跳动也就几个um,希望精准

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激光位移传感器