硅的各向异性腐蚀,用的晶向,跟N型P型有关系吗,还是必须用N型?
来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/10/06 15:38:58
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单晶硅与碱的各项异性腐蚀,主要是由于各晶面原子排列密度、方式不同引起的.与其中的掺杂类型无关.因为典型的掺杂为ppm极,即含量很少.当然你要是说我家的掺杂很重,重到破坏大部分晶格的排列了,那肯定有影响、近乎同性腐蚀了.不过即使这样也与导电型号无关.
另外跟晶相也无关.因为不管什么晶相都会主要沿(111)面刻下去.然而只有(100)的硅腐蚀绒化效果最好.
腐蚀的重要参数是碱液浓度和温度.这是后话,按下不表.
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