低温泵 价格?
来源：学生作业帮助网 编辑：六六作业网 时间：2024/11/24 11:44:32
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低温泵参数|规格|使用方法-上海科兴仪器有限公司
低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵,又称冷凝泵.低温泵是获得清洁真空的极限压力最低、抽气速率最大的真空泵,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面.
抽气原理
在低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板.它使气体凝结,并保持凝结物的蒸汽压力低于泵的极限压力,从而达到抽气作用.低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集.①低温冷凝：气体分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的气体层上,其平衡压力基本上等于冷凝物的蒸气压.抽空气时,冷板温度必须低于 25K；抽氢时,冷板温度更低.低温冷凝抽气冷凝层厚度可达10毫米左右.②低温吸附：气体分子以一个单分子层厚 (10-8厘米数量级)被吸附到涂在冷板上的吸附剂表面上.吸附的平衡压力比相同温度下的蒸气压力低得多.如在 20K时氢的蒸气压力等于大气压力,用 20K的活性炭吸氢时吸附平衡压力则低于10-8 帕.这样就可能在较高温度下通过低温吸附来进行抽气.③低温捕集：在抽气温度下不能冷凝的气体分子,被不断增长的可冷凝气体层埋葬和吸附.
一般说来,泵的极限压力就是冷板温度下的被冷凝气体的蒸气压力.温度为120K时,水的蒸气压已低于10-8帕.温度为20K时,除氦、氖和氢外,其他气体的蒸气压也低于10-8帕.但由于被抽容器和低温冷板的温度不同,泵的极限压力高于冷凝物的蒸气压.对于室温下的容器,低温板为20K时,泵的极限压力约为冷凝物蒸气压力的4倍.
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