离子氮化的工作原理请问离子氮化有几种方式?都是什么工作原理
来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/12/24 02:41:48
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离子氮化的工作原理
请问离子氮化有几种方式?都是什么工作原理
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离子氮化是利用辉光放电这一物理现象对工件表面进行硬化.在充有氨气的真空炉体内,炉体作为阳极,工件与炉底板接触为阴极.炉体与工件之间通入直流电压,使产生辉光放电.在辉光放电的高压电场下氨气中的氮、氢原子被电离,在阴阳极之间形成等离子区.气体中的离子向阴极移动,当接近工件表面时,由于辉光放电,工件表面出现电压降,电压剧降使离子加速轰击工件表面,高动能转变为热能,加热了被处理工件直至所需温度,同时一部分离子直接渗入工件表面,一部分离子引起阴极溅射,使工件表面得到净化.溅出的铁原子和电子作用形成的原子态氮相结合形成FeN吸附在工件表面,在高温和继续离子轰击的作用下,很快的分解为低价氮化物而放出活性氮,一部分向工件内部扩散,另一部分返回重新参加反应,被溅射的铁原子吸附在工件表面与新的氮原子相结合,促进氮化.
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