真空主要有什么元件组成

来源：学生作业帮助网 编辑：六六作业网 时间：2024/12/25 22:19:37
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真空主要有什么元件组成
真空主要有什么元件组成

真空主要有什么元件组成
你是否想问,真空设备有哪些元件组成吗?如果是的话,我简单说一下
一个真空系统,主要包括真空获得和负载两部分,真空获得部分,简单的是由低真空机组+高真空机组+相关真空阀等组成.
低真空设备一般是和大气相连,作为高真空设备的前级泵,目前常用的低真空设备,旋片泵、滑阀泵等,其工作范围,大气—0.1Pa
高真空设备是在前级设备配合下来实现对负载进行高真空获得的,由于高真空设备的特殊性,不能直接在大气状态下工作,常用高真空泵主要有扩散泵、分子泵、气体捕集泵等,工作范围,10^1—10^-5Pa
简单系统组合
旋片泵+扩散泵
旋片泵+罗茨泵+扩散泵
旋片泵+罗茨泵+分子泵

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