半导体行业使用的气体具体用途是什么比如说：硅烷,笑气,氯化氢,氨气,CF4,SF6,等常用气体.我相信肯定有行业内的大侠,麻烦指导一下.先谢谢一楼的回答，我只需要知道哪些气体用于哪些行业

来源：学生作业帮助网编辑：六六作业网时间：2024/12/19 00:44:58

半导体行业使用的气体具体用途是什么比如说：硅烷,笑气,氯化氢,氨气,CF4,SF6,等常用气体.我相信肯定有行业内的大侠,麻烦指导一下.先谢谢一楼的回答，我只需要知道哪些气体用于哪些行业半导体行业使用

半导体行业使用的气体具体用途是什么比如说：硅烷,笑气,氯化氢,氨气,CF4,SF6,等常用气体.我相信肯定有行业内的大侠,麻烦指导一下.先谢谢一楼的回答，我只需要知道哪些气体用于哪些行业
半导体行业使用的气体具体用途是什么
比如说：硅烷,笑气,氯化氢,氨气,CF4,SF6,等常用气体.我相信肯定有行业内的大侠,麻烦指导一下.
先谢谢一楼的回答，我只需要知道哪些气体用于哪些行业就可以，比如说哪些用在太阳能板，哪些用在LED或者电子元器件，

半导体行业使用的气体具体用途是什么比如说：硅烷,笑气,氯化氢,氨气,CF4,SF6,等常用气体.我相信肯定有行业内的大侠,麻烦指导一下.先谢谢一楼的回答，我只需要知道哪些气体用于哪些行业
做Si集成电路的fab里,你列举的这些都用的到.
硅烷和笑气,长氧化硅时候用.
HCL:清洗wafer的时候用.
CF4:蚀刻Si和氧化硅的时候用.
SF6:蚀刻Si的时候用.
其他还有BCl3,Cl2,Ar差不多都是蚀刻的使用.

半导体制程，分为好多步骤，详细的每个步骤分别用哪些气体，由于涉及机密，我不便透露。
只能告诉你，硅烷、氨气、CF4用在PECVD
HCL，SF6用在干蚀刻

半导体行业使用的气体具体用途是什么比如说：硅烷,笑气,氯化氢,氨气,CF4,SF6,等常用气体.我相信肯定有行业内的大侠,麻烦指导一下.先谢谢一楼的回答，我只需要知道哪些气体用于哪些行业听说半导体行业能用到气体减压器,是半导体行业的哪些设备或者产品要用到呢?设备名称是什么? 半导体元器件的晶粒具体属于什么行业? 氯气气体报警仪的具体特点与用途是什么在半导体行业中,金属引线框架的作用是什么? 湿度卡和干燥剂在半导体包装行业需要使用,但是具体怎么使用呢?请行业人士告知,1密封包装用的包装袋有什么要求吗? 斗式提升机什么行业能用上具体行业和用途主要是什么物料具体什么叫IT?IT行业又是怎么一回事?具体从事的是什么呢?所说从事IT行业就是从事的一门有关信息技术的和行业,比如说电脑方面的行业? 二乙醇胺用途都哪些类企业或行业使用二乙醇胺?具体一点,每个行业说一家就行! 明矾的具体用途是什么? 基础设施行业的定义是什么?具体包含哪些行业? 首先使用蒸汽机的是什么行业? 红外光谱仪的用途是什么?主要用在什么行业? IT行业具体指的是什么? 砂岩含硅量在90%以上的用途?具体行业的具体应用一乙醇胺的用途是什么?应用于什么行业,在行业中的主要用途? 使用氧化铅的行业有哪些请具体些在半导体行业中用的Doping profile 对应中文意思是什么啊?