我想问下多晶,单晶拉晶切片用到什么气体.只用到氩气,不用氮气和氧气?
来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2025/01/26 15:29:09
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我想问下多晶,单晶拉晶切片用到什么气体.只用到氩气,不用氮气和氧气?
我想问下多晶,单晶拉晶切片用到什么气体.
只用到氩气,不用氮气和氧气?
我想问下多晶,单晶拉晶切片用到什么气体.只用到氩气,不用氮气和氧气?
多晶铸锭 和单晶直拉用到保护气体是氩气,不过半导体里面单晶拉制 在1000°以下保温有用到氮气的,至于切片是用到是空压机提供的空气(干燥、清洁要求5公斤压力,作为机械运动动力).
不是气体,而是用碳化硅的液体来切的。
氩气,纯度99.999,氧含量不超过2.0ppm
肯定不能用氧气,直接不就把晶体氧化了吗。氮气在高温下也会和硅料反映生成氮化硅。用氩气,因为它是惰性气体不予硅料反映,另外它属深冷气体,还可以在冷却阶段通入,帮助冷却。
希望对你有帮助。
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