生产蓝宝石衬底的企业是否同时生产外延片?金属有机物气相外延(MOCVD)和泡生法分别是什么?有什么关联么?
来源：学生作业帮助网 编辑：六六作业网 时间：2024/11/23 22:08:25
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生产蓝宝石衬底的企业是否同时生产外延片?金属有机物气相外延(MOCVD)和泡生法分别是什么?有什么关联么?
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生产蓝宝石衬底的企业暂时没有几个在同时生产外延片,除了向三安光电那样做了外延片之后又往前做衬底片的,因为外延片的资本技术等投入不是一下两下就能搞的定的,像蓝晶四联只做衬底,不做外延,但是四联可以做后道封装,所以大部分的衬底厂家不做外延片.
MOCVD是氮化镓层在蓝宝石衬底片上生长的一种方法,又是因为这样的方法,所以一般又把这种机器叫MOCVD,MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料,以热分解反应方式在衬底上进行气相外延,生长各种Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料.
泡生法是一种蓝宝石晶体的长晶方法,又叫KY（Kyropoulos）法,这种方法是将一根受冷的籽晶与熔体接触,如果界面的温度低于凝固点,则籽晶开始生长,为了使晶体不断长大,就需要逐渐降低熔体的温度,同时旋转晶体,以改善熔体的温度分布.也可以缓慢的（或分阶段的）上提晶体,以扩大散热面.
MOCVD跟泡生法两者没有什么关联,如果非要说联系,那就说泡生法生长的晶体材料的品质问题会在MOCVD外延后有一定的体现.
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