为什么在待刻蚀硅片的两边,分别放置一片与硅片同样大小的玻璃夹板,叠放整齐,
来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/11/06 02:10:31
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主要是夹紧硅片的作用,如果不夹紧,硅片边缘会出现刻蚀过宽的现象
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