单晶炉有没有一个设备参数叫做等静功率,如果有的话请问是什么意思?

来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/11/24 03:03:51
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硅单晶在等直径生长时所需要的电加热功率,大小主要和热场大小保温性能、炉子、装料料、单晶直径长度、等径埚位、拉速等有关,一般热场越大功率越大,目前常用有18寸、20寸、22寸三种热场,功率一般是35-48kw、40-55kw、48-65kw,有些设计不合理的热场功率会偏差非常大.

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