真空泵的选择我想获得10-2到10-3Pa的压强,应该选用何种真空泵的组合啊?最好不要会造成真空室油污染的泵.最好给一个简易连接图,
来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/12/27 01:05:07
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真空泵的选择我想获得10-2到10-3Pa的压强,应该选用何种真空泵的组合啊?最好不要会造成真空室油污染的泵.最好给一个简易连接图,
真空泵的选择
我想获得10-2到10-3Pa的压强,应该选用何种真空泵的组合啊?最好不要会造成真空室油污染的泵.最好给一个简易连接图,
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便宜的用旋片式真空泵串接扩散泵即可.
泵的抽速选择,由真空室大小以及极限真空确定.
一般是两台旋片式真空泵+一台扩散泵组成.
一台旋片式真空泵直抽真空室,另一台抽扩散泵.
当真空室到5Pa以下,并且扩散泵预热后,
切换到扩散泵抽真空室.因为扩散泵有冷阱,所以泵油不会污染真空室.
假如有钱,就用分子泵代替扩散泵.不用预热.
并且彻底无油.
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