真空镀膜中扩散泵为什么预热

来源：学生作业帮助网编辑：六六作业网时间：2024/12/26 14:06:03

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真空镀膜中扩散泵为什么预热
真空镀膜中扩散泵为什么预热

真空镀膜中扩散泵为什么预热
扩散泵不是需要预热、而是需要加热,这是扩散泵的工作原理,跟处于什么工艺下进行没有关系.
扩散泵属于增压泵,单独是不可以使用的,必须串联机械泵,如旋片泵、滑阀泵等.
扩散泵的工作条件是全压强小于10pa才可以开启加热炉.
扩散泵没有电机,是通过电炉加热使油蒸发,然后冷凝的一个往复运动,期间将空气通过机械泵排出,这是扩散泵的工作原理.
一边情况下我们建议：机械泵的全压强真空度达到2pa以内,开启电炉,后经过40-80分钟的加热扩散泵进行正常的工作.（加热期间真空度也在提升.开始阶段如5-10分钟时真空度可能下降）
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必须把油烧沸腾了才能产生油蒸汽，尔扩散泵是靠油蒸汽的循环把空气带出来，所以必须要预热扩散泵才能工作。

扩散泵的工作原理是高温的油释放出告诉流动的油蒸汽，将泵中的空气和水蒸气一起带着喷出到冷却塔上，冷却塔的温度可以使油变成液体回流，但是空气就排走了。也就是说扩散泵是用高温油进行工作的，当然要热起来才能用。

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