金属表面含氟什么作用
来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/12/19 18:07:19
金属表面含氟什么作用金属表面含氟什么作用金属表面含氟什么作用金属氟化物稳定性好,特别是一些高熔点金属氟化物,热稳定性强.例如六氟化钨、六氟化铝、五氟化钽、四氟化钛等.主要用于超大规模集成电路作CVD成
金属表面含氟什么作用
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金属表面含氟什么作用
金属氟化物稳定性好,特别是一些高熔点金属氟化物,热稳定性强.例如六氟化钨、六氟化铝、五氟化钽、四氟化钛等.主要用于超大规模集成电路作CVD成膜材料,能满足使用要求.
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