单晶炉具体操作步骤要具体

来源：学生作业帮助网编辑：六六作业网时间：2024/11/17 21:46:09

单晶炉具体操作步骤要具体单晶炉具体操作步骤要具体单晶炉具体操作步骤要具体1、目的为正确、规范地操作单晶炉,确保生产作业正常,特制订本规范.2、适用范围适用于TDR-70A/B和JRDL-800型单晶炉

单晶炉具体操作步骤要具体
单晶炉具体操作步骤
要具体

单晶炉具体操作步骤要具体
1、目的
为正确、规范地操作单晶炉,确保生产作业正常,特制订本规范.
2、适用范围
适用于TDR-70A/B和JRDL-800型单晶炉的操作.
3、单晶炉操作工艺流程
作业准备→热态检漏→取单晶和籽晶→石墨件取出冷却→真空过滤器清洗→真空泵油检查更换→石墨件清洗→单晶炉室清洗→石墨件安装→石英坩埚安装→硅料安装→籽晶安装→抽空、检漏→充氩气、升功率、熔料→引晶、缩颈、放肩、转肩→等径生长→收尾→降功率、停炉冷却
4、主要内容
A.作业准备
a.进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋.
b.开炉前,按工艺要求检查水、电、气,确认无误后方能开炉.
c.准备好一次性洁净手套、耐高温手套、毛巾、纸巾、研磨布、酒精、吸尘刷、吸尘管、防尘口罩.
d.准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具.
e.取单晶的架子、装石墨件的不锈钢小车、装埚底料的不锈钢筒和装硅料的不锈钢小车,并处理干净.
f.用毛巾将炉体从上到下一遍,擦洗时注意不要将所有控制接线及开关碰断或碰坏,并把炉子周围清扫干净.
B.热态检漏
a.检查上一炉功率关闭时间,在单晶冷却4.0小时（TDR-70A/B型单晶炉）、5.0小时（JRDL-800型单晶炉）后,关闭氩气（只关闭氩气阀门,主、付室流量计调节阀打开并分别调节到30L/Min）,开始抽高真空,并作时间记录.
b.待炉内压力到达极限（要求达到3Pa以下）后,先关闭主室球阀而后关闭真空泵电源进行检漏,并作相应时间记录,若0.5小时内抽不到3Pa以下时,交有关维修人员处理,在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉,并作相关记录.
c.检漏要求3分钟以上,漏气率

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