怎么提高单晶硅用石英坩埚透明层的质量
来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/12/22 14:44:05
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首先你不是隆基的员工吧
单晶硅用石英坩埚一般分为3层:最外层气泡密集区,中间透明层(理想的是无气泡的),最里层涂层.
透明层质量越高,也就是气泡越少,厚度越均匀,R处的厚度越厚,在拉直单晶中:1.隔绝了气泡层的气泡进入溶硅中,2,透明层本省不会有有气泡炸裂带入微小的二氧化硅颗粒.气泡炸裂进入溶硅最直接的影响就是单晶鼓掉,其次就是氧含量增加
要提高石英坩埚透明层的质量三点:1:用好的原料,目前都是美国垄断,尤尼明的石英砂.
2.真空电弧法生产时的炉内真空度和高纯卫生,这点很重要,在好料给你工艺细节不注意也是白搭.
3.生产工艺流程和温度等,这些就是工艺细节了,比如温度啊,冷却时间啊...
在设备一定,工艺一定的条件下,想提高坩埚透明层质量:用好料,注意高纯卫生和真空度!
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石英坩埚透明层如何形成的
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