四氟甲烷的主要用途是什么
来源：学生作业帮助网 编辑：六六作业网 时间：2024/12/27 04:07:19
四氟甲烷的主要用途是什么四氟甲烷的主要用途是什么四氟甲烷的主要用途是什么四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅
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四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻