IC工艺 CMOS工艺 MEMS工艺有什么关系和区别?这三者到底都是怎么定义的,有关联么?
来源：学生作业帮助网 编辑：六六作业网 时间：2024/11/23 23:47:45
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这三者到底都是怎么定义的,有关联么?
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ic即intergarted circuit,集成电路,统称.所以ic工艺即是制造集成电路的工艺,有很多种,比如最早的bipolar工艺、后来的nmos工艺、pmos工艺以及现阶段被广泛使用的cmos工艺（cmos工艺就是在一套制程种能同时生产两种mos,nmos和pmos）,另外还有集成了cmos和bipolar的bi－cmos工艺等等.
而mems即微机电系统,是一门新兴学科和领域,跟ic有很大的关联,当然mems工艺也和cmos工艺会有很大的相似之处,现在的发展方向应该是把二者集成到一套的工艺上来.
对mems不是特别的了）
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