硅单晶电阻率测定方法如何提高测试的精确度?为什么需要对厚度进行修正?（四探针法）
来源：学生作业帮助网 编辑：六六作业网 时间：2025/01/11 05:33:04
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4探针法需要探针与Si的接触足够好,探针表面不能氧化.
测试电流不能引起Si内部发热,否则电阻率会大幅度变化.
一般掺杂硅单晶的掺杂层厚度都是一个等效值,在掺杂层内,掺杂浓度并不均匀,导致电阻率在纵向不均匀,因此必须修正厚度,得到等效厚度值.
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