如何用等量干涉原理检验光学表面质量如何用等厚干涉原理检验光学平面的表面质量
来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/12/31 23:05:25
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在待检测光学平面上放置一标准光学平面,并在一端接触的地方放一微小物体,使两平面成一微小夹角,便构成了一个空气尖劈.用平行光照射时,根据干涉图样的弯曲情况就可判断待测平面的表面质量.
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