怎么测量半导体薄膜的电阻率
来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2025/02/02 11:07:24
怎么测量半导体薄膜的电阻率怎么测量半导体薄膜的电阻率怎么测量半导体薄膜的电阻率测量半导体电阻率的方法很多,按是否与样品接触可以分为两类,即接触式和非接触式.常用的电阻率测量方法有直接法、二探针法、三探
怎么测量半导体薄膜的电阻率
怎么测量半导体薄膜的电阻率
怎么测量半导体薄膜的电阻率
测量半导体电阻率的方法很多,按是否与样品接触可以分为两类,即接触式和非接触式.常用的电阻率测量方法有直接法、二探针法、三探针法、四探针法、多探针阵列、扩展电阻法、霍尔测量、涡流法、微波法、电容耦合C-V测量等.对于体单晶的电阻率测量,生产中应用最普遍的是四探针法;对于半导体晶片的电阻率测量,微波法等非接触式测量方法由于使用方便、不损坏样品,因而应用也越来越多.
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