金刚石镀钛真空度要求

来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/12/23 15:54:26
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金刚石镀钛真空度要求
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金刚石镀钛真空度要求
真空镀通常用的时PVD法,PVD法可分为真空蒸发镀、真空阴极溅射镀和真空离子镀,它们的工作真空镀是不一样的.真空蒸发镀的是10的﹣2次方到10的﹣4次方个Pa.阴极溅射镀的工作真空镀是1~10的﹣2次方Pa,和离子镀的要求是一样的.