求文献 DBD等离子体合成类金刚石薄膜及其性能表征付亚波 商立军常龙龙许文才
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电离层等离子体的形成及性质
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如何用DBD方式产生等离子体而不产生臭氧可能不行,但产生高密度等离子体时,尽可能少产生臭氧有什么方法吗?DBD一般是在常压下进行的,似乎对电极加温也可以减少臭氧发生量,不知是否?
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