什么是驻波效应
来源：学生作业帮助网 编辑：六六作业网 时间：2024/11/08 00:54:53
什么是驻波效应什么是驻波效应什么是驻波效应微电子制造工艺中的一种现象.在微细图形光刻过程中,一般曝光光源为单色或窄带光源,在由基片、氧化物层和抗蚀剂等组成的多层膜系情况下,由于膜系各层折射率不同,曝光
什么是驻波效应
什么是驻波效应
什么是驻波效应
微电子制造工艺中的一种现象.
在微细图形光刻过程中,一般曝光光源为单色或窄带光源,在由基片、氧化物层和抗蚀剂等组成的多层膜系情况下,由于膜系各层折射率不同,曝光时入射光将在各层膜的界面处发生多次反射,在光致抗蚀剂中形成驻波.