真空镀膜机达不到高真空怎么回事
来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/12/25 12:25:57
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设备长期运行后会有新的漏点产生,设备整体检漏.真空泵需要维护,以便保证工作指标.由于真空室内有镀膜的沉积物,和其他沉积.这些沉积物,会吸附空气中的水等物质.在多次开关真空室后会不断带入污染物---手上的油和零件上的挥发物等.在镀膜时,挥发沉积在真空室的阴暗处.当再次抽真空时,沉积物和它吸取的水等,缓慢挥发出来,减缓了抽真空的速度.而且工作次数越多,沉积物更多,开门次数多,吸附的水更多.如此循环,抽真空的速度越来越慢.检查胶圈等密封面.把沉积物清理干净,用酒精把真空室内搽干净,然后抽真空,烘烤.抽气速度会快很多.
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