三氯氢硅提纯中B、P杂质为什么难以去除?

来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2025/01/11 19:28:39
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三氯氢硅提纯中B、P杂质为什么难以去除?

三氯氢硅提纯中B、P杂质为什么难以去除?
因为B、P在高温下也能与HCl等反应生成挥发性BCl3、PCl3,这些物质混在SiHCl3中难以去除

B、P的化合物种类繁多,有些和三氯氢硅、二氯二氢硅、四氯化硅的沸点相似