抛光sio2用什么抛光液和抛光垫

来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/11/26 13:24:25
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抛光sio2用什么抛光液和抛光垫
抛光sio2用什么抛光液和抛光垫

抛光sio2用什么抛光液和抛光垫
给你推荐个经典配置,CABOT的抛光液,罗门哈斯的抛光垫.
是硅片抛光吗?目前用的最广的是二氧化硅胶体为磨料的碱性抛光液.磨料粒径50-100nm.
PR HOFFMAN 公司的也还不错,国内的很少吧,基本上进口的好一些,不过要试用了才知道,设备不一样会有很大区别的
我以前使用氧化铈和粗孔抛光布,比较普遍.
你是要问厂商还是材料啊
一般用SIO2粒子研磨液,粒子SIZE(20nm-200nm),我们有韩国的牌子代替cabot在韩国,需要可以联系用金剛石抛光液3μm和无毛抛光布后再用氧化铝抛光液抛光和长毛抛光布