等离子CVD法是什么
来源：学生作业帮助网 编辑：六六作业网 时间：2024/12/18 13:35:28
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等离子CVD法是什么
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微波等离子CVD法在石英玻璃上生长金刚石薄膜.
在真空条件下采用氢气刻蚀二氧化硅形成硅膜,用微波等离子化学气相沉积法在玻璃上生长金刚石薄膜,并用X射线衍射、Raman光谱和光电子能谱对石英玻璃上的金刚石薄膜进行分析,指出其形成中间层SiO2/Si/SiC/C（金刚石）是在石英玻璃上生长金刚石薄膜的关键.