为什么要在真空下镀膜
来源：学生作业帮助网 编辑：六六作业网 时间：2024/11/26 07:14:00
为什么要在真空下镀膜为什么要在真空下镀膜为什么要在真空下镀膜满意答案热心问友2011-04-19所谓真空镀膜就是置待镀材料和被镀基板于真空室内,采用一定方法加热待镀材料,使之蒸发或升华,并飞行溅射到被
为什么要在真空下镀膜
为什么要在真空下镀膜
为什么要在真空下镀膜
满意答案热心问友2011-04-19所谓真空镀膜就是置待镀材料和被镀基板于真空室内,采用一定方法加热待镀材料,使之蒸发或升华,并飞行溅射到被镀基板表面凝聚成膜的工艺.在真空条件下成膜可减少蒸发材料的原子、分子在飞向基板过程中于分子的碰撞,减少气体中的活性分子和蒸发源材料间的化学反应（如氧化等）,以及减少成膜过程中气体分子进入薄膜中成为杂质的量,从而提供膜层的致密度、纯度、沉积速率和与基板的附着力.通常真空蒸镀要求成膜室内压力等于或低于10-2Pa,对于蒸发源与基板距离较远和薄膜质量要求很高的场合,则要求压力更低