硅片各种名称的含义常听说的有：低阻、高阻、Dummy wafer、重掺、抛光片、镀膜片、头尾料、挡片.说法很多各是什么含义啊?有啥区别请DX赐教
来源：学生作业帮助网 编辑：六六作业网 时间：2024/11/28 19:28:54
硅片各种名称的含义常听说的有：低阻、高阻、Dummy wafer、重掺、抛光片、镀膜片、头尾料、挡片.说法很多各是什么含义啊?有啥区别请DX赐教
硅片各种名称的含义
常听说的有：低阻、高阻、Dummy wafer、重掺、抛光片、镀膜片、头尾料、挡片.
说法很多
各是什么含义啊?有啥区别
请DX赐教
硅片各种名称的含义常听说的有：低阻、高阻、Dummy wafer、重掺、抛光片、镀膜片、头尾料、挡片.说法很多各是什么含义啊?有啥区别请DX赐教
将某一特定晶向的Si seed(种子,通常为一小的晶棒)棒插入熔融状态Si下,并慢慢向上拉起晶棒,一根和seed相同晶向的晶柱就被生产出来,晶柱的直径可以通过控制向上拉的速度等工艺变量来控制.将晶柱切割成很多的一小片,wafer就被制造出来了.晶柱两头无法切割成可用的wafer的部分可被称为头尾料.初步切割出来的wafer,表面通常比较粗糙,无法用作晶圆生产,因而通常都在后续工艺中进行抛光,抛光片的名词就由此而来.针对不同晶圆制造要求,通常需要向粗制晶圆内掺杂一些杂质,如P,B等,以改变其阻值,因而就有了低阻,高阻,重掺等名词.镀膜片可以理解为外延片Epi,是针对特定要求的半导体device而制定的wafer,通常是在高端IC和特殊IC上使用,如绝缘体上Si(SOI)等.在晶圆IC的生产过程中,需要一些wafer来测试生产设备的工艺状态,如particle水平,蚀刻率,缺陷率等,这些wafer通常叫做控片,控片也用来随正常生产批一起工艺以测试某一工艺的质量状况,如CVD膜厚等.生产设备在维护或维修后,立即工艺生产批的wafer,容易造成报废,因而通常要用一些非常低成本的wafer来运行工艺以确定维护或修理工作的质量,这类wafer通常叫做dummy wafer,当然有的时候dummy wafer也会用在正常生产过程中,如某些机台必须要求一定数量的wafer才能工艺,不足的就用dummy wafer补足,而有的机台必须在工艺一定数量的wafer后进行某一形式的dummy run,否则工艺质量无法保证等等诸如此类的很多wafer都可以叫做dummy.挡片基本上可以视为dummy wafer的一种.dummy wafer,控片,挡片等通常都是可以回收利用的.