硅料酸洗工艺中的酸用什么酸

来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/12/23 06:55:21
硅料酸洗工艺中的酸用什么酸硅料酸洗工艺中的酸用什么酸硅料酸洗工艺中的酸用什么酸可以一般情况下是盐酸和硫酸不过盐酸效果好一些有点多所以一般用盐酸可以不过洗出来的效果一般需要经过后续工艺才能改进表面质量.

硅料酸洗工艺中的酸用什么酸
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硅料酸洗工艺中的酸用什么酸
可以一般情况下是盐酸和硫酸
不过盐酸效果好一些 有点多
所以一般用盐酸可以 不过洗出来的效果一般 需要经过后续工艺才能改进表面质量.

用硝酸氧化,用氢氟酸络合,主要还是看你酸洗什么类型的硅料。再来决定硝酸和氢氟酸的比例