真空计有哪几种?真空计的分类
来源：学生作业帮助网 编辑：六六作业网 时间：2024/11/23 03:36:07
真空计有哪几种?真空计的分类
真空计有哪几种?
真空计的分类
真空计有哪几种?真空计的分类
按真空度刻度方法分类
(1)绝对真空计：直接读取气体压力,其压力响应(刻度)可通过自身几何尺寸计算出来或由测力确定.绝对真空计对所有气体都是准确的且与气体种类无关,属于绝对真空计的有U型镑压力计、压缩式真空计和热辐射真空计等.
(2)相对真空计：由一些气体压力有函数关系的量来确定压力,不能通过简单的计算进刻度,必须进行校准才能刻度.相对真空计一般由作为传感器的真空计规管(或规头)和用于控制、指示的测量器组成.读数与气体种类有关.相对真空计的种类很多,如热传导真空计和电离真空计等.
按真空计测量原理分类
直接测量真空计 这种真空计直接测量单位面积上的力,有:
(1)静态液位真空计：利用U型管两端液面差来测量压力.
(2)弹性元件真空计：利用与真空相连的容器表面受到压力的作用而产生弹性变形来测量压力值的大小.
间接测量真空计 压力为10-1Pa时,作用在1cm2表面上力只有10-5N,显然测量这样小的力是困难的.但可根据低压下与气体压力有关的物理量的变化来间接测量压力的变化.属于这类的真空计有：
(1)压缩式真空计：其原理是在U型管的基础上再应用波义耳定律,即将一定量待测压力的气体,经过等温压缩使之压力增加,以便用U型管真空计测量,然后用体积和压力的关系计算被测压力.
(2)热传导真空计：利用低压下气体热传导与压力有关这一原理制成.常用的有电阻真空计和热偶真空计.
(3)热辐射真空计：利用低压下气体热辐射与压力有关原理.
(4)电离真空计：利用低压下气体分子被荷能粒子碰撞电离,产生的离子流随电力变化的原理.如：热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计和放射性电离真空计等.
(5)放电管指示器：利用气体放电情况和放电颜色与压力有关的性质判定真空度,一般仅能作为定性测量.
(6)粘滞真空计：利用低压下气体与容器壁的动量交换即外摩擦原理.如振膜式真空计和磁悬浮转子真空计.
(7)场致显微仪：以吸附和解吸时间与压力关系计算压力.
(8)分压力真空计：利用质谱技术进行混合气体分压力测量.常用的有四极质谱计、回旋质谱计和射频质谱
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在较高压力时(105～1Pa)利用压力差U型管压力计，麦克劳真空计，薄膜计，弹簧管压力计等。
在103～10-2Pa的中间压力范围，利用气体性质(热传导，粘性)的变化而做成的皮氏计、粘性真空计。
在低压力时，使用将气体分子电离而测量的电离真空计。
表2 真空计的适用压力范围
真空计的名称可测的压力范围(Pa)水银压力计(U型管)105～102油压力计(U...
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在较高压力时(105～1Pa)利用压力差U型管压力计，麦克劳真空计，薄膜计，弹簧管压力计等。
在103～10-2Pa的中间压力范围，利用气体性质(热传导，粘性)的变化而做成的皮氏计、粘性真空计。
在低压力时，使用将气体分子电离而测量的电离真空计。
表2 真空计的适用压力范围
真空计的名称可测的压力范围(Pa)水银压力计(U型管)105～102油压力计(U型管)105～102油压力计(U型管)3*103～1
麦克劳真空计(一般型和特殊型)
103～10-3弹性变形真空计105～102隔膜真空计(机械式)105～102隔膜真空计(电气式)105～10-3电离真空计(三极管型)10-1～10-5超高真空用B-A型10-2～10-6极高真空用热阴极磁控计10-5～10-10高真空用(舒尔茨型)10～10-2冷阴极真空计1～10-5皮拉尼真空计104～10-2热电偶真空计102～10-1热敏电阻真空计102～10-1粘性真空计1～10-5克努曾真空计10-1～10-5
参考文献： 真空计的分类及其适用量程范围 http://www.chvacuum.com/vacuum-measure/gauge/043100.html
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