三氯氢硅过滤工艺是什么多晶硅行业中,改良西门子法,三氯氢硅的提纯是核心,目前国内三氯氢硅提纯这一步是怎么做的?
来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2025/01/30 14:53:36
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三氯氢硅过滤工艺是什么
多晶硅行业中,改良西门子法,三氯氢硅的提纯是核心,目前国内三氯氢硅提纯这一步是怎么做的?
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先用旋风进行除尘,再用袋式过滤器,而后是急冷器进行洗涤分离~
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