真空镀膜机使用过程中需要使用水吗?会产生什么废气

来源：学生作业帮助网编辑：六六作业网时间：2024/12/22 20:27:25

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真空镀膜机使用过程中需要使用水吗?会产生什么废气
真空镀膜机腔体里面是不允许有水的,否则就抽不了真空,不过镀膜机是需要有冷却水循环冷却,
至于废气我不知道你说的是哪方面,是抽真空镀膜腔体内的空气呢,还是指抽高真空后真空腔体内溢出的水蒸气和油气分子
希望能帮你解决部分疑问

真空镀膜机内如果受潮，是会影响设备运转的，但是水是必须到，是冷却用，从原理上讲，这个是物理变化，基本不会产生新的气体。

需要水，主要是冷却水，如果是1300mm的机器，流量大约最高75L/Min，会产生一定废弃，主要是机械泵及扩散泵里面的油气，很少，但是需要排气系统把这些气排出去。否则室内忍受不了。

真空镀膜有N多种，磁控溅射、多弧、PECVD。不同的镀膜有不同的原理和真空度要求，而有些需要冷却有些不需要。请问你的是什么真空镀？

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