半导体硅晶圆片和硅抛光片有什么区别?一般Wafer指什么?

来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/12/23 15:56:58
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硅晶圆片包括硅抛光片.硅棒加工成片后,成为切片,切片经过磨片加工成为研磨片,研磨片经过化学腐蚀后成为化腐片,化腐片经过抛光后成为抛光片.wafer通常指圆片了