多晶硅氢化炉与多晶硅还原炉是一样的炉子吗?用的热场材料分别是什么材质的?
来源：学生作业帮助网 编辑：六六作业网 时间：2025/02/07 09:23:02
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肯定是不一样的啊.不过炉子的外形结构是一样的,不过作用和具体构造肯定是不一样的.
还原炉,就是将硅芯至于石墨夹头中,而石墨夹头放在银电极上,通过高压击穿硅芯,使三氯氢硅被氢气还原出来的硅在硅芯上面均匀的生长.
而氢化炉则是通过炭炭加热体加热使四氯化硅被氢气还原为三氯氢硅.
大体答案是这样的
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