太阳能电池片扩散工艺气体氧气什么作用

来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/11/21 22:07:58
太阳能电池片扩散工艺气体氧气什么作用太阳能电池片扩散工艺气体氧气什么作用太阳能电池片扩散工艺气体氧气什么作用因为用POCL3进行扩散时,POCL3会在高温(>600℃)下分解成为P2O5和PCL5.而

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因为用POCL3进行扩散时,POCL3会在高温(>600℃)下分解成为P2O5和PCL5.而PCL5是不易分解的,而且会腐蚀硅片.所以我们通一定量的氧气,使PCL5和氧气反应生成P2O5和氯气.而扩散的反应主要就是沉积在硅片表面的P2O5与硅片反应生成SIO2和P原子,然后P原子在硅片中进行扩散.