在真空,高温条件下,可不可以以利用分子扩散向半导体材料掺入其它元素?
来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/12/27 09:54:02
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可以.但是温度不要太高,因为温度过高时,扩散会从杂质扩散转化为本征扩散(热扩散),不利于参杂.具体合适温度根据你的固溶体类型来,可以查表.
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