什么是多硅晶
来源：学生作业帮助网 编辑：六六作业网 时间：2024/11/17 14:47:09
什么是多硅晶什么是多硅晶什么是多硅晶多晶硅的生产工艺主要由高纯石英（经高温焦碳还原）→工业硅（酸洗）→硅粉（加HCL）→SiHCL3（经过粗馏精馏）→高纯SiHCL3（和H2反应CVD工艺）→高纯多晶
什么是多硅晶
什么是多硅晶
什么是多硅晶
多晶硅的生产工艺主要由高纯石英（经高温焦碳还原）→工业硅（酸洗）→硅粉（加HCL）→SiHCL3（经过粗馏精馏）→高纯SiHCL3（和H2反应CVD工艺）→高纯多晶硅.