西门子法与改良西门子法都有些什么不同?那个更好?
来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/12/25 10:21:05
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改良西门子法 改良西门子法
多晶硅生产的西门子工艺,其原理就是在1100℃左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯三氯氢硅,生成多晶硅沉积在硅芯上.改良西门子工艺是在传统西门子工艺的基础上,同时具备节能、降耗、回收利用生产过程中伴随产生的大量H2、HCI、SiCI4等副产物以及大量副产热能的配套工艺.目前世界上绝大部分厂家均采用改良西门子法生产多晶硅.
改良西门子法相对于传统西门子法的优点主要在于:
1)节能:
由于改良西门子法采用多对棒、大直径还原炉,可有效降低还原炉消耗的电能;
2)降低物耗:改良西门子法对还原尾气进行了有效的回收.
所谓还原尾气:是指从还原炉中排放出来的,经反应后的混合气体.
改良西门子法将尾气中的各种组分全部进行回收利用,这样就可以大大低降低原料的消耗.
3)减少污染:由于改良西门子法是一个闭路循环系统,多晶硅生产中的各种物
料得到充分的利用,排出的废料极少,相对传统西门子法而言,污染得到了
控制,保护了环境.
才五分啊,太少了
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